1）技术参数：整机规格700mm(W)×700mm(D)×1600mm(H)腔体规格Φ230mm×210mm腔体容积8.5L电极规格外置环形电极载物规格单层，180mm×185mm（平放、悬挂均可）电源系统RF射频等离子发生源，全自动阻抗匹配；13.56MHz...
1）技术参数：
整机规格 | 700mm(W)×700mm(D)×1600 mm(H) |
腔体规格 | Φ230mm×210mm |
腔体容积 | 8.5L |
电极规格 | 外置环形电极 |
载物规格 | 单层，180mm×185mm（平放、悬挂均可） |
电源系统 | RF射频等离子发生源，全自动阻抗匹配；13.56MHz |
控制系统 | 触摸屏+PLC自动控制 |
真空系统 | 抽速：6L/S |
气路系统 | 2路工作气体、1路放空、1路接枝 |
工作电压 | AC220V |
2）产品特点：
ü RF射频晶体管等离子发生源，全自动阻抗匹配。
ü 柜式结构，真空泵内置，有效节约占地面积。
ü 万向底轮设计，方便设备移动。
ü 高强度石英石玻璃腔体，易清洁、耐腐蚀。
ü 置物方式多样化，可平放、可悬挂。
ü 外置环形电极，有效避免对腔体内的污染。
ü 真彩色全中文界面触摸屏，画面清晰，操作方便。
ü PLC自动控制，功能齐全，所有运行参数可自行设置并监控，主要功能包括：手动模式/自动模式任意切换、PID自动调节、自动操作、自动报警功能（如：相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等）、实时监控画面、配方管理及密码管理功能。
3）应用范围：
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