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1）技术参数： 2）产品特点：ü设备采用知名品牌触摸屏和PLC自动控制，包括自动调节、自动操作、自动报警功能（如：相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、射频电源反射功率报警、电源无功率输出...
1）技术参数：
2）产品特点：
ü 设备采用知名品牌触摸屏和PLC自动控制，包括自动调节、自动操作、自动报警功能（如：相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、射频电源反射功率报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等），所有运行参数可监控，充分保证操作便捷、高效。
ü 设备采用专业定制的最优工艺参数，包括等离子发生源的功率、频率及放电时间、工艺气体配比及进气量等，共同保证货品的最优处理效果。
3）应用范围：
芯片制造和封装 光学镜头模组 消费电子零部件
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