1）技术参数：整机规格2100mm(W)×1345mm(D)×2200mm(H)腔体规格共2个，单个：660mm(W)×850mm(D)×1520mm(H)腔体容积855L×2电极规格内置管状电极载物规格14层×2真空系统泵组（真空泵+罗茨泵），抽速：600m3/h电源...
1）技术参数：
整机规格 | 2100mm(W)×1345mm(D)×2200 mm(H) |
腔体规格 | 共2个，单个：660mm(W)×850mm(D)×1520mm(H) |
腔体容积 | 855L×2 |
电极规格 | 内置管状电极 |
载物规格 | 14层×2 |
真空系统 | 泵组（真空泵+罗茨泵），抽速：600m3/h |
电源系统 | 固态晶体管等离子发生源 |
控制系统 | 触摸屏+PLC自动控制 |
气路系统 | 2路进气、1路放空（可根据客户需求增加气路） |
水冷系统 | 水冷机+冷却管路 |
工作电压 | AC380V |
备 注 | 可针对不同物料形式、尺寸及产能等实际需求而定制专业设备 |
2）产品特点：
ü 独特的管状电极设计，并采用双腔式结构，即可实现双腔体同时处理，也可实现单腔体独立运行。
ü 设备采用知名品牌触摸屏和PLC自动控制，包括自动调节、自动操作、自动报警功能（如：相序异常、真空泵异常、真空泵过载、气体报警、放空报警、射频电源反射功率报警、电源无功率输出报警、真空度过高报警、真空度过低报警等），所有运行参数可监控，充分保证操作便捷、高效。
ü 设备采用专业定制的最优工艺参数，包括等离子发生源的功率、频率及放电时间、工艺气体配比及进气量等，共同保证货品的最优处理效果。
3）应用范围：
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